全数字伺服运算，系统动态性可自测。 PID和谐振滤波可软件设置。 内置波形发生器。 所有通道自带模拟输入输出接口。 支持电容传感器和应变片传感器。

传感器主要用于高精度测量长度、厚度、深度、锥度等应用。压电应变传感器是用于力的过程监 控，当受形变力时，输出电压信号。

纳米-压电控制器传感器.pdf