压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现 X 轴、Z 轴、XY 轴、XZ 轴、XYZ 轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式。
用于显微成像、生物技术、超分辨率显微镜、光学圆盘显微镜、共聚焦显微镜、3D 成像、筛选、干涉测量、测量技术、自动聚焦 系统、半导体测试等。
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