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仪器型号 |
QVH300 |
QVH400 |
QVH500 |
QVH600 |
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仪器参数 |
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测量范围
(mm) |
X |
300 |
400 |
500 |
600 |
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Y |
300 |
400 |
400 |
500 |
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Z |
200 |
200 |
200 |
200 |
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工作台
(mm) |
硬铝合金台面 |
520*460 |
620*560 |
680*640 |
790*740 |
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玻璃台面 |
478*418 |
578*510 |
638*598 |
748*698 |
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承重 |
50kg |
50kg |
50kg |
50kg |
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影像及测
量系统 |
测量速度 |
MAX:600mm/s |
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CCD |
美国TEO彩色高分辨率摄像机800TV线 |
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变焦物镜 |
全自动变倍：0.7－4.5X |
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视频放大分倍率 |
30－230X |
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物方视场 |
10.6－1.6mm |
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工作距离 |
82mm |
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显示分辨率 |
0.0001mm(U型：0.00001mm) |
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运动控制系统:四轴全闭环控制:三轴交流伺服马达全闭环控制,预压线性滑轨与研磨级滚珠螺杆驱动,步进马达同轴控制镜头组 |
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重复性 |
2μm(U型：0.5μm) |
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测量精度 |
XYZ轴≦(1.5+L/150)um,Z轴（光学测量时）≦(5+L/200)um U型：XYZ轴≦（0.75+L/200）um |
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外形尺寸(mm) |
1100*960*1780 |
1200*1060*1780 |
1340*1080*1780 |
1500*1200*1780 |
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仪器重量(kg) |
700kg |
800kg |
900kg |
1100kg |
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照明 |
可程控四环八区LED表面光及直轴轮廓冷光源（选配同轴冷光源）,亮度可调 |
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电源 |
220V±10%(AC) 50HZ 电流大于20A | |
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