产品概述
WNP681S / WNP683S / WNP685S是采用压电陶瓷驱动的六维并联纳米级精密定位扫描平台，平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了平台极佳的运动精度。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。平台内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。

产品特点
行程：XYZ150μm x θXθYθZ1mrad / XYZ300μm x θXθYθZ2mrad  / XYZ500μm x θXθYθZ3.5mrad；优异的导向精度  ；外形尺寸为175 x 175 x 38mm ；分辨率为3.5μm / 7.5μm / 12μm ；中空尺寸为75 x 75mm ；内置高性能的压电陶瓷 ；高稳定性 ；开/闭环可供选择 

产品应用
扫描显微镜（SPM）•干涉•计量•掩模/晶圆定位•度量衡学•生物技术•显微光学•激光技术•微操作