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并联六自由度平台能够提供全部6个自由度,即3个线性轴和3个旋转轴,组合在一起实现并联运动。并联六自由度平台的优势是允许用户自定义支点,可实现被测物的直接环绕,同时可以根据需要自定义另外的旋转点。
1、高速、高精度的并联六自由度平台能够提供全部六个自由度
2、并联运动设计,具有紧凑、刚性高的特点。
3、集成了自动扫描程序。
4、适用于各种姿态调整应用

 

X

Y

Z

θx

θy

θz

行程

±40mm

±40mm

±30mm

±12°

±12°

±24°

重复定位精度

20μm

20μm

20μm

0.01deg

0.01deg

0.01deg

最大速度

6mm/s

6mm/s

4mm/s

1°/s

1°/s

2°/s

载重

300N

驱动类型

步进电机(1.8°)