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　 型号 WNXYR60-H WNXYR80-H WNXYR120-H
机械规格 台面尺寸 Ø60mm Ø80mm Ø120mm
移动行程X轴 ±7.5mm ±12mm ±15mm
移动行程Y轴 ±7.5mm ±12mm ±15mm
移动形成 ±8.5° ±10°
传动方式 螺杆传动
轨道XY轴 交叉滚柱式
轨道θ轴 交叉滚柱轴承
材质/表面处理 铝合金/黑色阳极处理
精度等级 精密性
马达方向 R:右侧安装 L:左侧安装
精度规格 XY轴解析度 5μm/2.5μm
θ轴解析度 0.0056°/0.0028° 0.0047°/0.0023° 0.0034°/0.0017°
XY轴单向定位精度 10μm
XY轴反复定位精度 ±1μm
θ轴单向定位精度 0.05°
θ轴反复定位精度 ±0.01°
荷重（KG） 6 10 25
XY轴空转 2μm
θ轴空转 0.01°
平行度 20μm 30μm
运动同心度 20μm
运动平行度 10μm 15μm
电器规格 马达类型 28步进电机 28步进电机 28步进电机
马达品牌 MOONS'(鸣志)
滑台侧接头 15pin公端连接器D-SUB
控制器侧接头 15pin母端连接器D-SUB
电源电路 24V±10%
控制输出 NPN开放式集电极输出24V 8mA以下
输出控制 检测（感应时）：输出电晶体OFF