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型号
WNMPT-XY50Z30T0.6R1
运动自由度
X,Y,Z ;θx,θy,θz
行程范围
(μm±20%)
50
，
50
，
30
转角范围
(mrad±20%)
0.6
，
0.6
，
1
位移分辨率
(nm)
0.6
，
0.6
，
1
重复定位精度
(nm)
-/50
，
-/50
，
-/30
运动方向上刚度
(N/μm±20%)
50
最大负载
(Kg)
5
固有频率
(Hz±20%)
1500
工作温度范围
(℃)
-20 ～ 80
