WN002TS-65

WN002TS-90

X/Y

Z

θxy

θz

X/Y

Z

θxy

θz

运动台面(mm)

Φ65

Φ90

最大行程(mm)/ (deg)

±7

±6

±15

±10

±15

±14

±30

±12

重复定位精度(μm)/ (deg)

±1

±1

±0.01

±0.01

±1

±1

±0.01

±0.01

负载(垂直方向/水平方向) (kg)

5

5

电机类型

步进电机/伺服电机/直流电机

接口类型

Ethernet，USB，串口（RS-232）

输出功率

110-240 VAC/ 50-60Hz

可选项

用户可以定制平台面;更大行程；真空兼容；无磁应用；尺寸可扩展