大幅面高倍测量系统移动机构Z轴实现显微镜自动对焦，XY轴实现快速移动到被测区域，显微镜实现连续多倍数变换，实现对大面积物体高精度观察和测量。

X轴行程：800mm，分辨精度0.5μm;

Y轴行程：600mm，分辨精度0.5μm;

Z轴行程：150mm，分辨精度0.1μm;负债20kg;

显微镜物镜：5X、10X、20X、40X、100X