型号
WN117TM50M
特点:
台面尺寸
100mm×50mm
⊕高精度基座和台面,保证了平移台的直线度、偏摆、俯仰以及运动平行度
驱动方式
测微头
⊕位移调整采用测微头或差动测微头驱动
驱动位置
侧向驱动
⊕高精度小分辨率测微头保证产品在纳米级的微位移调整
行程
50mm
⊕测微头在平移台侧向放置,结构更加紧凑
最小刻度
0.01mm
⊕采用弹簧复位,消除轴向间隙
最小调整量
0.002mm
⊕台面和底座分布标准孔距的安装孔,方便安装和组合
导轨形式
交叉滚柱导轨
⊕可与其它系列位移台组成多维调整架
承载
40kg
⊕可加装光栅尺显示移动微小位移量
直线度
5μ
偏摆
25″
俯仰
15″
台面平行度
10μ
运动平行度
15μ
自重
0.65kg
材料
硬铝
表面处理
阳极氧化染黑