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此产品通过X、Y、Z三轴移动来调整刮刀位置,由力传感器来感应刀片下降过程所受到的力大小,从而完成刮涂硅片的工作。

描述 

规格 

X轴

Y轴

z轴

结构描述

行程

200mm

200mm

100mm

台面尺寸

115x115mm

115x115mm

115x115mm

主体材料

铝合金

表面处理

阳极氧化发黑

台面承载

7kg

7kg

15kg

精度描述

最大速度

25mm/sec

重复定位精度

1μm

绝对定位精度

3μm

回程间隙

2μm