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安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。
人机工程学设计,操作方便
可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。