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设计的全新数字化3.0系统架构

让机台变得更简单、更轻巧

我公司体积最小的12寸探针台,面宽仅1米

节省超净间费用,移动方便

专利的动态地图和静态地图系统

让机台更快更准确

此专利“趋0误差 (C0)“和“虚拟尺 (VR) ”技术

专门测量不平整晶圆

F1架构彻底解决目前市面上机台扎针的不确定性

是所有同行必然仿效的典范