主要特点：

1、新型的全方位角离子收集器，可以收集样品表面特定区域的几乎全部反射离子。

2、超高的表面灵敏度，信息深度一般在3个原子层之内。

3、良好的定量特性。

4、离子源可以工作在高束流模式和分析模式之间切换，可以对样品进行清洁和溅射。

5、自动化的真空系统、完善的互锁装置，使操作更简单。

6、最表层原子定量分析。

低能离子散射谱(LEIS)的一个显著特点就是其超高的表面灵敏度和良好的定量性。相对于其他常见的表面分析手段，例如XPS 、 AES ，它最大的特点是可以把信息深度缩小到单原子层厚度。配合上深度剖析， 则可以实现从表面单原子层成分分布成像，到样品深度方向成分变化等多种测量。