双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径 80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。

双管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管.

四通道质量流量计控制4路气体。

配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。 

炉子底部装有滑轨：炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温.