技术参数：

- Z大可测样品尺寸：Φ200mm 或 140×140mm

面电阻测试:

- 测试方法：四探针接触测试

- 测试范围：1mΩ/sq ～ 2MΩ/sq

- 测试点：仅中心点

电阻率测试:

- 测试方法：四探针接触测试（需输入厚度）

- 测试范围：10.0 μΩ·cm ～ 200.0KΩ·cm

- 测试点：仅中心点

数据处理软件：

- 搭配个人电脑使用

- 连接方法：USB 连接

- 数据管理：保存、加载、导出

- 数据分析：查看、统计……

产品特点：

- 自动接触单元

- 手动或自动选择测试范围

- 单一和双重测量方法

- 样品台尺寸大小可订制