半导体行业无人工厂面积需求主要分为两个方面：
 一方面是工序设备需求面积，
 另一方面是辅助设施需求面积。
 计算工厂面积需求时，应根据本工厂能力计划和设备产能；
 计算得到设备需求量，再依据每台设备的占地面积，即可得到面积需求。
测绘设备占地面积时需要注意以下重点：
 ■ 设备物理占地面积；
 ■ 作业员操作占地面积；
 ■ 相关工具占地面积；
 ■ 设备与其他设备之间的安全距离所产生的占地面积；
 ■ 设备日常维护面积余裕；
 ■ 留给生产物流、人流的面积余裕；

每台设备的占地面积应该是以上所有面积的总和。在辅助设施面积需求问题上，我们需要考虑ERP电脑输入终端、各种办公桌、在制品货架等等。一般的半导体行业无人工厂设备需求面积、辅助设施需求面积计算可参照下表：