行程
20mm
设计分辨率
0.125μm
重复定位精度
＜1μm
运动直线度
＜2μm
运动平行度
＜5μm
俯仰（θy）
10″（50μrad）
偏摆（θz）
最高速度
5mm/sec
负载
1kg
自重
0.8kg
产品特性：超精密型电控平移台采用高细分步进电机驱动，分辨率极高进口高精密超薄线性滑轨保证运动精度高、外形小巧，是精细调整的首选
