X
Y
Z
θX
θY
θZ
WNE2000S-L
WNB10-60LN
WNB10-60RN
WNB30-60LK
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WNE2000S-R
WNB30-60RK
行程
粗动:±6.5mm 微动;±0.3mm
分辨率
粗动:10μM 微动:0.5μM
光轴高
130mm