X

Y

Z

θX

θY

θZ

WNES3000A-L

WN101-20MS

WN101-20MS

WN101-20MS

B50-60LN

-

WNES3000A-R

WN101-20MS

WN101-20MS

WN101-20MS

B50-60RN

-

行程

20mm

±3°

-

分辨率

0.05μM（20细分）

0.003°

-

光轴高

145 mm