X

Y

Z

θX

θY

θZ

WNES4000-L

WN101-20MS

WN101-20MS

WN101-20MS

WNB50-60LN

WNKS501-60U

WNES4000-R

WN101-20MS

WN101-20MS

WN101-20MS

WNB50-60RN

WNKS501-60UR

行程

20mm

±3°

±10°

分辨率

0.05μM（20细分）

0.003°

0.0045°

光轴高

145 mm