X

Y

Z

θX

θY

θZ

WNES5200-L

WNKS102-30

WNKS101-20MS

WNKS102-70RY

WNKS501-40U

WNKS501-60LR

-

WNES5200-R

WNKS102-30R

WNKS101-20MS

WNKS102-70Y

WNKS501-40UR

WNKS501-60L

-

行程

30mm

20mm

70mm

16°

16°

-

分辨率

0.05μM（20细分）

0.003°

0.0032°

-

光轴高

189  mm