运动自由度

X,Y

行程

500μm

分辨率

2.5nm

外形尺寸

110x110x65mm

◆ 外形尺寸：110x110x65mm；
◆ 行程为500µm，分辨率为2.5nm；
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统，有效消除侧向运动分量；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。