产品概述 WNP111S / WNP112S是采用压电陶瓷驱动的一维纳米级精密定位平移台,平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,柔性铰链具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,确保了平台极佳的运动精度。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。平台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。平台特点体积小、结构紧凑、易于集成。
产品特点 紧凑型的外形:40 x 40mm ;行程为100μm / 200µm / X400μm ;分辨率为2.5nm / 5nm ;内置高性能的压电陶瓷 ;开/闭环可供选择 ;高性价比
产品应用 微加工•微操作•显微光学•半导体测试
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