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压电物镜扫描台(大负载):WNP216
 

产品概述
WNP216S是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台,扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,确保了扫描台极佳的运动精度。扫描台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。分立的螺纹适配器,可适配多种型号的物镜。

产品特点
聚焦行程为100μm ;分辨率为2.5nm ;大物镜的高动态定位和扫描 ;快速响应 ;聚焦稳定性高 ;优异的导向精度 ;适配器使用灵活 ;最大螺纹接口M32 ;内置高性能的压电陶瓷 ;开/闭环可供选择

产品应用
三维成像技术•筛选•自动对焦系统•显微镜•共聚焦显微镜•表面分析•晶圆检验

 

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