产品概述
WNP410S是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密扫描台,平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,确保了平台极佳的运动精度。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。平台内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构,并联结构有着更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的集成于红外成像扫描系统中。
产品特点 外形尺寸为58 x 52 x 10mm ;中空尺寸为25 x 23mm ;紧凑设计 ,易于集成 ;行程为 18 x 18μm ;分辨率为0.45nm ;高稳定性 ;快速响应 ;优异的导向精度 ;内置高性能的压电陶瓷 ;开/闭环可供选择
产品应用 红外成像系统•激光定位•表面扫描•光学扫描 |