产品特点：
1.闭式气浮轴承结构
2.直驱驱动，零齿槽效应
3.高速度稳定性
4.纳米级跳动误差
5.重复定位精度±0.5角秒

WNQFR-M系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。WNQFR-M的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。

对WNQFR-M直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到最低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，最大减少了因与其他轴叠层安装引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。

WNQFR-M采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，较大的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。

气浮转台采用精密圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅信号细分，分辨率0.01角秒，轴向跳动误差＜100nm。

气浮转台可安装滑环，用于测试速度稳定性，MEMS和惯性导航等应用。