一、原理

纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。

主要特点：

  采用光干涉方式，非接触测量

  3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量

  自动粗糙度参数选择（ISO25178）

  毫米级大面积测量

  高精度测量（垂直方向分辨率0.01nm）

  快速、高重复性测量

  多层薄膜和薄膜内层缺陷分析