背景介绍 QF100系列是目前国内性能的气浮直线台,可作为单轴使用或根据应用与其它轴组装成系统,广泛应用于精密加工,测试测量,扫描、半导体及光子学等行业。
非接触式结构 采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统,确保免维护运行。因为运动元件间没有机械接触,随着时间的推移,不会出现磨损或性能下降,使用寿命几乎是无限的,气浮导轨不需要润滑,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择。
高精度指标 气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮直线台的直线度、平面度,Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高,同时由于非接触式,伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃,定位精度和重复精度得到了显著提高。
定制化 可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨,提升精度性能。行程可接受定制。
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