XY轴用气浮导轨导向，直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈，十字叠层结构，X轴为底轴，永磁预载气浮结构，Y轴为上轴，闭式气浮导轨；

AB轴气浮导轨、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，侧向放置承载能力大，解决气浮抱死的问题。优秀的轴向跳动误差、径向误差运动和倾角误差，使AB轴正交1~5arc sec，轴向线重合度优于5μm；

Z轴直驱力矩电机驱动，交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，获得纳米级定位纹波；

济南青大理石作为基座，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质最有保障。大理石做模态分析，结构尺寸依据客户的要求做最终设计。