X/Y轴（底轴/上轴）采用气浮导轨导向，直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈。XY轴十字叠层组装，Y轴长度约等于X轴宽度，保证负载在极限位置时，不会出现悬空，提供精度性能，正交性可高达2arc sec.
X 轴为永磁预载气浮结构，Y轴为闭式气浮结构，特殊的结构设计，能使双轴气浮运动台获得更高的精度，X轴定位抖动100nm内，Y轴定位抖动200nm内。
Z轴采用精密交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动和光栅尺闭环反馈，因直线电机作为Z轴无抱闸功能，配置低摩擦气缸，安装负载后，有效抵消电机向上持续保持力，提升精度性能，交叉滚柱导轨作为Z轴，在定位抖动上有着良好性能。
用大理石作为基座，大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质最有保障。大理石做模态分析，结构尺寸，依据客户的要求做最终设计。 |
