背景介绍
XY轴为精密气浮运动台，Z轴为线轨平升结构，紧凑的三轴结构应用于加工，测试测量及半导体行业。由于非接触式移动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构优势
XY轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统，确保免维护运行。因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮导轨不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。
WNRBSV系列直驱结构，直接移动负载，不是蜗轮蜗杆结构传动，在一个长行程的移动范围，保持尽可能短的高度，优化了Abbe误差，有助于提高整体精度性能。采用抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch/Roll/Yaw指标提出了创新解决方案。
线缆管理
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作。
定制化
XY轴可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能。行程可接受定制。
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