背景介绍
随着科研及制造业不断发展，相应的加工检测设备的性能相应提高，我司在运动控制上有着丰富的制造经验，推出了一款大行程的WNQFGD系列双轴超气浮运动台，用于半导体膜厚检测，同时胶厚测量、激光加工、封装检测及其它制造业。
定制化设计
我司制造的大行程双轴气浮运动台用于半导体膜厚检测，气浮非接触式结构已经证明是应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。
底轴Y轴用于微动调整步进，纳米级微动步距，气浮结构保证了高直线度，上轴X轴搭载检测仪器，高平面度指标保证了理想的切割直线，在200mm/s时速度稳定性0.05%，同时能够实现高动态响应和快速位置整定。各轴行程可定制。
大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴，龙门架X轴行程可定制，提升工作效率。
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。
整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。 |
