轴系

X轴

Y轴

Z轴

产品型号

DZWN-0516-01-00

DZWN-0516-01-00

WN200TA400H

结构描述

行程

200mm

200mm

400mm

直线电机

ILM5-L24S-TP-3.0

ILM5-L24S-TP-3.0

导轨

SHS15V2SS-520L P-Ⅱ

SHS15V2SS-520L P-Ⅱ

高精密线性滑块导轨

主体材料

铝合金/不锈钢

表面处理方式

阳极氧化发黑

台面承载

5-10kg

5-10kg

20kg

重量

16.9kg

16.9kg

7.2kg

精度描述

分辨率

0.1μm

0.1μm

25μ/50μ（无细分） 1.25μ/2.5μ（20细分

最大速度

600mm/s

600mm/s

50mm/sec或100mm/sec

重复定位精度

1μm

1μm

2μm

绝对定位精度

3μm

3μm

5μm

直线度

2μm

2μm

5μm

运动平行度

5μm

5μm

20μm