
全自动双轴晶圆划片机主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、LED芯片、太阳能电池、电子基片等的划切,适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。其工作原理是通过空气静压主轴带动金刚石砂轮划切刀具高速旋转,将晶圆或器件沿切割道方向进行切割或开槽。
产品介绍:
● 1.8KW(2.4KW可选) 大功率直流主轴
● 高刚性龙门式结构
● T轴旋转轴采用DD马达
● 进口超高精密级滚柱型导轨
● 进口超高精密滚珠型丝杆
● CCD双镜头自动影像系统
● 友好人机交互界面
● 瑞士进口滚柱导轨,精度高,耐用性久,稳定性高,超高直线度,实测0.9μm
● 采用进口研磨级超高精密滚珠丝杠,定位精度可达2μm全行程
● 自动对焦功能,具有CSP切割功能,具有 在线刀痕检测功能
● NCS非接触测高,BBD刀破损检测,自动修磨法兰功能
● 工件形状识别功能,更加友好人机界面
● 自动化程序著提升
● 满足各种加工工艺需求 |