1.三轴精密气浮运动台采用气浮导轨导向，直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈，Z轴含气缸配重，有效抵消电机向上输出力。
2.应用于激光微纳加工、测试测量、半导体加工及检测等领域。
3.用济南青大理石作为基座，济南青大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质最有保障。
4.大理石做模态分析，结构尺寸，依据客户的要求做最终设计，可定制真空吸盘。