1光路系统

1）红外光源照明方案采用上方侧面照射，样品上光源的照射位置与AFM针尖位置一致。光路调整通过软件实现全自动马达控制

2）软件中可以二维图像显示激光热点，通过软件自动控制马达来优化光斑位置达到很大的信噪比

3）模块化设计，光路的后期校正无需人工调整，优化激光斑点聚焦和位置可通过软件分别进行无相互干扰控制。为实现光路优化的良好效果，软件马达控制光路准直器。

2 AFM-IR纳米红外光谱系统

自动检测激光能量，软件自动调整红外光源的能量，为得到准备光谱数据，软件自动扣除激光背景

3 近场扫描光学显微镜

采用散射型近场光学激发和收集设计，配有多光路系统，可实现多束激光同时聚焦到探针上，分辨率为10nm。

4 原子力显微镜

适用于纳米尺度的光学成像和获得光谱稳定度高的原子力显微镜