● 卓越的空间分辨率
电子探针可达到的最高级别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV），分析条件下No.1的二次电子分辨率。
（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）
● 大束流超高灵敏度分析
实现3.0μA（加速电压30kV）的最大束流。可超高灵敏度进行超微量元素的面分析。并且全束流范围无需更换物镜光阑。
● 高性能X射线谱仪
秉承岛津电子探针颇具优势的52.5°X射线取出角。采用4英寸罗兰圆半径的分光晶体兼顾高灵敏度与高分辨率。可同时搭载5通道高性能X射线谱仪。分析性能更胜一筹。
● 全部分析操作简单易懂
全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。追求「易懂」的人性化用户界面。搭载导航模式，自动指引直至生成报告。 |
