产品规格检测元素范围  WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～UX射线检测范围  WDS检测的波长范围:  0.087～9.3nm,EDS EDS检测的能量范围:  20keV分光谱仪数量  WDS: 1～5道可选、EDS: 1台，zui大样品尺寸  100mm × 100mm × 50mm（H）加速电压  0.2～30kV（以0.1 kV为步长）束流电流范围  10-12 ～ 10-5 A束流电流稳定度  5%/h, ±0.3%/12h（W）二次电子分辨率  6nm（W）, 5nm（LaB6）*2（W.D. 11mm, 30kV）扫描倍率  ×40 ～  ×300,000（W. D. 11mm）扫描图像分辨率  zui大 5,120× 3,840彩色显示器  EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024SEM操作、 EDS分析用:  LCD 1,280 × 1,024*1: 需安装用于Be分析的选配分光晶体。*2: LaB6 为选配。