主要特点：

完全自动化设计，自动对焦、校正

全新光路、电路设计，测量精度更高，速度更快

50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件

双光栅光谱仪系统，杂散光抑制水平高

8个尺寸微光斑，可视技术

自动平台样品扫描成像