产品特点
系列产品主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理，优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统，可保证实验数据的可靠性；产品采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料，炉管材质优良，炉管两端不锈钢法兰密封，可在真空下工作，法兰上有进气口和出气口，可通入保护气体，精密针型阀可调节进气流量。
1、CVD管式炉系统由加热系统、真空获得系统和气路系统组成。
2、管式炉可选择不同的管径和恒温区的长度，炉管两端的不锈钢密封法兰也可选择高真空法兰和低真空法兰；
3、真空获得系统可根据试验要求选择不同的真空泵，旋片式机械真空泵真空度≤5pa，分子泵真空机组真空度1×10-4pa；
4、气路供气系统可选择3路浮子手动和3路自动质量流量系统。
5、真空测量用作数字复合真空机或皮拉尼真空计。
6、温控器内置的RS485数字通信端口和USB适配器作为可选配置，可连接PC，用于系统的远程控制和监视，还可以保存或导出测试结果。 |
