产品亮点

1、高精度、真紫外曝光    

2、光刻图案设计灵活

3、所见即所得的精准套刻

4、超大面积拼接

5、灰度曝光

6、高稳定性，操作便捷

系统升级选项

1、激光光源

2、主动隔振平台

3、三维重构观测

4、手套箱内集成