1）高分辨光刻，至1um水平；

2）可使用各种掩模板，小尺寸~4英寸均可用；再大尺寸，可以定制化服务。

3）特殊的基底卡盘可定做；

4）高精度对准台及显微镜操纵器；

5）用于不同紫外曝光的高强度光学装置；

6）用于楔形补偿的空气方位系统；

7）所有部件均可接触；

8）符合人体工程学操作；

9）低成本，高品质；