半导体行业无人工厂有其特殊性，这样的工厂往往由于产品重量比较轻，所以物流分析不是最重大的依据，反而非物流分析非常重要。一般半导体行业无人工厂分区间的非物流关系分析可参照下表：

半导体行业无人工厂分区之间的相互关系密切程度的典型影响通常包含：物流、工艺流程、作业相似度、使用相同的设备、使用统一场所、使用相同的公用设施等。一般半导体行业无人工厂分区间的非物流关系密切等级参照下表：