1.硅集成电路芯片工厂生产废水处理系统应根据废水污染因子种类，水量、当地变水排放要求等设置分类收集，处理的废水处理系统。
 2.生产废水处理系统应设置应急废水收集池。
 3.连续处理的生产废水系统应设置调节池，调节池的大小应根据废水水量及水贡变化规律确定。
 4.废水处理系统的设备及构筑物应设置放空设施。
 5.生产废水系统污泥脱水设备应根据污泥脱水性能和脱水要求确定。
 6.沉淀池所排出的污泥在进行机械脱水前宜先进行浓绢，污泥进入脱水设备前的含水率不宜大于98%。
 7.污泥脱水间立预留脱水后泥饼的贮存或堆放的空间，并应根据外运条件设置运输设施和通道。
 8.废水处理系统的设备及构筑物应根据所接触的水质采取防腐措施。
 9.废水处理应墓循节水优先、分质处理、优先回用的原则。
 10.工艺循环冷却水系统的水温、水压及水质要求，应根据生产工艺条件确定。对于水温﹑水压、运行等要求差别较大的设备，工艺循环冷却水系统宜分开设置。
 11.工艺循环冷却水系统的循环水泵宜采用变频调速控制，应设置备用泵，备用泵供水能力不应小于最大一台运行水泵的额定供水能力。
 12.工艺循环冷却水系统的循环水泵供电形式，宜采用双回路供电或采用大功率不间断电源(UPS)装置供电。
 13.工艺循环冷却水系统应设置过滤器，过滤器宜设置备用。过滤器的过滤精度应根据工艺设备对水质的要求确定。
 14.工艺循环冷却水系统的换热设备宜设置备用机组。
 15.循环水箱的有效容积不应小于总循环水量的10%，且应设置低位报警装置和大流量自动补水系统。
 16.工艺循环冷却水系统的管路应符合下列规定:
 1) 配水管路应满足水力平衡的要求；
 2) 应设置泄水阀或泄水口，排气阀或排气口和排污口﹔
 3) 工艺冷却水管道的材质，应根据生产工艺的水质要求确定，宜采用不锈钢管、给水UPVC管或PP管，管道附件与阀门宜采用与管道相同的材质；
 4) 非保温的不锈钢管与碳钢支吊架之间的隔垫应采用绝缘材料，保温不锈钢管应采用带绝热块的保温专用管卡。工艺循环冷却水系统应结合工艺用水设备、工艺循环冷却水系统的设备及管路、冷却水水质情况，合理设置水质稳定处理装置