指通过微观谱图（光谱、色谱、质谱、能谱、核磁共振谱、热谱等）对未知成分进行分析的技术方法（全成份分析、主要成份分析、指定成份分析、对比分析、杂持分析、异物分析）。

化学成份分析产品：光刻胶、抛光液、蚀刻液、显影液、清洗剂、研磨垫、稀释剂、剥离液等高分子与精细化学品等。