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X |
Y |
Z |
θX |
θY |
θZ |
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WNES6200-L |
WNKS102-30 |
WNKS101-20MS |
WNKS102-70RY |
WNKS501-40U |
WNKS501-60LR |
WNKS501-60LR |
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WNES6200-R |
WNKS102-30R |
WNKS101-20MS |
WNKS102-70Y |
WNKS501-40UR |
WNKS501-60L |
WNKS501-60LR |
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行程 |
30mm |
20mm |
70mm |
16° |
16° |
16° |
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分辨率 |
0.05μM（20细分） |
0.003° |
0.0032° |
0.0032° |
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光轴高 |
214 mm |
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