产品特点：
1.闭式气浮轴承结构
2.高轴向和径向刚度
3.低噪音结构设计
4.直驱零齿槽效应
5.跳动误差200nm
6.高速度稳定性

WNQFR-N系列是高性价比的气浮转台，高定位精度、高速度稳定性和200nm跳动误差，有效载荷能力和出色的径向和轴向刚度产品满足晶圆检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。

对WNQFR-N系列气浮转台进行了优化设计，大型空气轴承表面和创新的预压高刚度，承载能力大，可侧向放置使用。较低的轴向和径向误差运动，突出的倾角误差运动，以及由此产生的性能明显优于其它旋转空气轴承表和主轴，大大有利于要求特殊平面性能的应用。

WNQFR-N系列采用无刷直驱电机驱动，电机先进的磁路设计，产生高转矩输出和低热量产生，零齿槽效应和无扭矩纹波，使得气浮转台在低速或高速时平滑转动。

气浮转台圆光栅闭环反馈，运用国际上先进的驱动控制器，分辨率达0.01角秒，重复定位精度≤1arc sec。

圆光栅尺可选增量式或Absolute encoder。

气浮转台可定制滑环或气路接头，满足高速度稳定性或高精度惯性导航测试的应用。

由于气浮转台径向刚度大，可定制成AC轴，满足曲面微加工或测试的应用。