一、原理
纳米尺度3D光学干涉测量系统VS1800应用光干涉现象，对微细的表面形貌进行测量，可实现高性能薄膜、半导体、汽车零配件、显示器等行业所要求的高精度测量。而且还能以无损伤方式进行多层膜的层结构以及层内部的异物测量。
主要特点：
采用光干涉方式，非接触测量
3D测量支持线粗糙度和面粗糙度测量
自动粗糙度参数选择（ISO25178）
毫米级大面积测量
高精度测量（垂直方向分辨率0.01nm）
快速、高重复性测量
多层薄膜和薄膜内层缺陷分析
