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WNQFL200系列三轴气浮运动平台
 

X/Y轴(底轴/上轴)采用气浮导轨导向,直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈。XY轴十字叠层组装,Y轴长度约等于X轴宽度,保证负载在极限位置时,不会出现悬空,提供精度性能,正交性可高达2arc sec.

X 轴为永磁预载气浮结构,Y轴为闭式气浮结构,特殊的结构设计,能使双轴气浮运动台获得更高的精度,X轴定位抖动100nm内,Y轴定位抖动200nm内。

Z轴采用精密交叉滚柱导轨导向,直线电机驱动和光栅尺闭环反馈,因直线电机作为Z轴无抱闸功能,配置低摩擦气缸,安装负载后,有效抵消电机向上持续保持力,提升精度性能,交叉滚柱导轨作为Z轴,在定位抖动上有着良好性能。

用大理石作为基座,大理石因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好,应用于运动台上质量可靠,品质最有保障。大理石做模态分析,结构尺寸,依据客户的要求做最终设计。

 

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